证券之星消息，芯源微(688037)08月13日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

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投资者：公司哪些产品设备会采用半导体臭氧及臭氧水设备？
芯源微董秘：公司产品包括前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大板块。半导体设备制造工艺复杂多样，具体设备是否采用臭氧及臭氧水设备取决于工艺需求和技术要求。具体产品及技术情况请您参见公司公告，感谢您的关注！

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